In der Mikroskopie wird eine schnelle und gleichzeitig präzise Bewegung der Z-Achse für unterschiedliche Aufgabenstellungen gebraucht, z.B. für Autofokussysteme, Oberflächenanalyse, Screeningaufgaben, Waferinspektion oder Mehr-Photonen-Spektroskopie. Schnelle Scans in Z-Richtung für dreidimensionale Aufgaben haben die gleichen Anforderungen an Präzision und Geschwindigkeit. Piezoantriebe sind für solche Aufgabenstellungen gut geeignet, gleichgültig ob Objektiv, der komplette Objektivrevolver oder die Probe positioniert werden soll.
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In der Biotechnologie sowie in der klinischen und pharmazeutischen Forschung ist Mikroskopie heute ohne Automatisierungstechnik kaum noch denkbar. Aber auch bei etlichen Anwendungen in der industriellen Oberflächeninspektion verlangen sowohl die großen Datenmengen als auch die gewünschten Durchsatzraten entsprechende Lösungen bei Probenhandling und -positionierung. Nun erreichen handelsübliche Schrittmotoren zwar die notwendigen Geschwindigkeiten und Auflösungen im Mikrometerbereich und eignen sich damit durchaus als Antriebe für einen Proben-Scan in XY-Richtung.
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