Nanofocus AG hat neues Messsystem µsprint hp-opc 3000 für die optische Inspektion von Probe Cards in der Waferproduktion vorgestellt. Das µsprint hp-opc 3000 Inspektionssystem ermöglicht einen neuartigen Prozessschritt. Das Messsystem stellt die Unversehrtheit von Wafern nach dem Testvorgang sicher und trägt damit zur Reduzierung operativer Kosten, Minimierung von Yield-Verlusten und Qualitätssteigerung in der Waferproduktion bei.
Eine Pilotanlage befindet sich bereits bei einem namhaften Hersteller von Halbleiterelementen erfolgreich im Einsatz. Weitere Aufträge werden für das 3. Quartal 2016 erwartet.